氧化锌铝靶材

1、以锌盐和铝盐为原料，加纯水溶解，调pH至7.0～10.5，然后在水热条件下，控温90～140℃反应1.0～2.0小时；

2、过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化锌铝粉体；

3、所得粉体在400～550℃煅烧2小时；

4、将所得粉体装入真空热压炉，抽真空1～100Pa，加压50～100MPa，然后慢慢升温，在1200～1400℃内保温烧结2～5小时，再缓慢降温，制得相对密度不低于95%的氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材。